无锡尚积半导体科技股份有限公司
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PVD设备
Applications
MEMS
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- Getter
- YOx
- SiO2
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POWER
- SiC Hot Al
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- GaN Thick Al
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- Pt
III-V(RF)
- Resistors: TaN, NiCr, WSi, CrSi, WNiSi
- Backside via Seeds: Au
- Frontside Seeds: Au, Cu
- Ti, TiW
- TC-SAW: SiO2
IC
- Al
- Ti/TiN
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Glass Wafer
- ITO
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- Moly
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- Ta/TaN
